TPM5 સિરીઝ પાવર કંટ્રોલર મોડ્યુલ ડિઝાઇન વિચાર અપનાવે છે અને અંદર 6 સર્કિટ સુધી એકીકૃત કરે છે.ઉત્પાદનોનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે પ્રસરણ ભઠ્ઠીઓ, PECVD, એપિટાક્સી ભઠ્ઠીઓ વગેરેમાં થાય છે.