TPM5 સિરીઝ પાવર કંટ્રોલર
-
TPM5 સિરીઝ પાવર કંટ્રોલર
TPM5 શ્રેણી પાવર કંટ્રોલર મોડ્યુલ ડિઝાઇન વિચાર અપનાવે છે અને અંદર 6 સર્કિટ સુધી એકીકૃત કરે છે. ઉત્પાદનોનો ઉપયોગ મુખ્યત્વે ડિફ્યુઝન ફર્નેસ, PECVD, એપિટાક્સી ફર્નેસ વગેરેમાં થાય છે.