તે આરએલએસ શ્રેણી આરએફ પાવર સપ્લાય માટે અનુકૂળ થઈ શકે છે, અને પ્લાઝ્મા એચિંગ, કોટિંગ, પ્લાઝ્મા ક્લિનિંગ, પ્લાઝ્મા ડિગમિંગ અને અન્ય પ્રક્રિયાઓમાં વ્યાપકપણે ઉપયોગમાં લેવાય છે.જ્યારે એકલા ઉપયોગ થાય છે, ત્યારે તેનો ઉપયોગ અન્ય ઉત્પાદકોના RF પાવર સપ્લાય સાથે થઈ શકે છે.